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1974年，科学家唐尼古奇最早使用纳米技术一词描述精密机械加工。
1982年，科学家发明研究纳米的重要工具，即扫描隧道显微镜。
1990年7月，第一届国际纳米科学技术会议的举办标志着纳米科学技术的正式诞生。
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1991年，碳纳米管被人类发现。
1993年，中国科学院北京真空物理实验室操纵原子成功写出中国二字，标志着中国开始在国际纳米科技领域占有一席之地。
1997年，美国科学家首次成功地使用单电子移动单电子。
1999年，巴西和美国科学家在进行纳米碳管实验时发明了世界上最小的秤。纳米技术逐步走向市场。
2003年，纳米技术在基础研究和应用研究方面都取得了突破性进展。