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精密仪器灭火可使用二氧化碳灭火器。二氧化碳灭火器有流动性好、喷射率高、不腐蚀容器和不易变质等优点，可用来扑灭用来扑灭图书、档案、贵重设备、精密仪器、600伏以下电气设备及油类的初起火灾等。二氧化碳具有窒息和冷却的作用，用它来灭火，事后不留痕迹，物品没有腐蚀、损坏。
二氧化碳灭火剂
是一种具有一百多年历史的灭火剂，价格低廉，获取、制备容易，其主要依靠窒息作用和部分冷却作用灭火。二氧化碳具有较高的密度，约为空气的1.5倍。在常压下，液态的二氧化碳会立即汽化，一般1kg的液态二氧化碳可产生约0.5立方米的气体。因而，灭火时，二氧化碳气体可以排除空气而包围在燃烧物体的表面或分布于较密闭的空间中，降低可燃物周围或防护空间内的氧浓度，产生窒息作用而灭火。另外，二氧化碳从储存容器中喷出时，会由液体迅速汽化成气体，而从周围吸收部分热量，起到冷却的作用。二氧化碳灭火器适用于扑救各种可燃液体和可燃气体的初起火灾。以及带电设备和精密电子仪器、贵重设备的火灾。但不宜在室外刮大风时使用，在窄小和密闭的空间使用后，要及时通风或人员撤离现场，以防窒息。
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