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硅片多线切割用的是钢线所制成的电极丝，常用的电极丝有钼丝、钨丝、黄铜丝和包芯丝等。
电极丝直径的选择应根据切缝宽窄、工作厚度和拐角尺寸大小来选择。若加工带尖角、窄缝的小型模具宜选用较细的电极丝；若加工大厚度工件或大电流切割时应选用较粗的电极丝。电极丝的主要类型、规格如下：
1、钼丝，直径：0.08mm至0.2mm，抗拉强度高，适于快速走丝加工，快速走丝机床大都选用钼丝作电极丝；
2、钨丝，直径： 0.03mm至0.1mm，抗拉强度高，一般用于各种窄缝的精加工，但价格昂贵；
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3、黄铜丝，直径：0.1mm至0.3mm，适合于慢速加工，加工表面粗糙度与平直度较好，蚀屑附着少，但抗拉强度差，损耗大，一般用于慢速单向走丝加工；
4、包芯丝直径：0.1mm至0.3mm，适合于大工件切割，成本较低，经济效益显著 。