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无害。臭氧为气体氧化剂，其杀菌过程为强氧化作用使微生物细胞中的多种成分产生反应，从而产生不可逆转的变化而死亡。臭氧灭活病毒是通过直接破坏其核糖核酸或脱氧核糖核酸物质完成的。而杀灭细菌、霉菌类微生物则是臭氧首先作用于细胞膜，使膜构成成分受损伤，导致新陈代谢障碍并抑制其生长，臭氧继续渗透破坏膜内组织，直至杀死。湿度增加提高杀灭率，是由于高湿度下细胞膜膨胀变薄，其组织容易被臭氧破坏。
臭氧去除异味性能极好。依靠其氧化性能可快速分解产生臭味及其他气味的有机或无机物质。臭味的主要成分是胺Ｒ３Ｎ、硫化氢Ｈ２Ｓ、甲硫醇ＣＨ３ＳＨ等。臭氧对其氧化分解，生成物没有气味。
臭氧消毒柜臭氧量较低，不会损坏人体器官。在使用时，只要注意开窗通风，定期检修，在机器故障时及时修理，就不会有较大臭氧气味散发出。
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