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甲烷：是结构最简单的碳氢化合物。广泛存在于天然气、沼气、煤矿坑井气之中，是优质气体燃料，也是制造合成气和许多化工产品的重要原料。从分子的层面上来说，甲烷是一种比二氧化碳更加活跃的温室气体，但它在大气中数量较少。
硅烷：为一种提供硅组分的气体源，可用于制造高纯度多晶硅、单晶硅、微晶：为一种提供硅组分的气体源，可用于制造高纯度多晶硅、单晶硅、微晶硅、非晶硅、氮化硅、氧化硅、异质硅、各种金属硅化物。因其高纯度和能实现精细控制，已成为许多其他硅源无法取代的重要特种气体。
鉴别甲烷和甲硅烷方法：甲烷与氧气反应生成二氧化碳和水，则甲硅烷与氧气反应生成二氧化硅和水。
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