生成硅酸和氯化氢。
三氯硅烷是一种含有硅,氢和氯元素的化合物,溶于苯、醚等多数有机溶剂,相对密度为1.37,相对密度为4.7,性质稳定 。对眼和呼吸道粘膜有强烈刺激作用。高浓度下,引起角膜混浊、呼吸道炎症,甚至肺水肿。与氧化剂发生反应,有燃烧危险。极易挥发,在空气中发烟,遇水或水。与氧化剂发生反应,有燃烧危险。极易挥发,在空气中发烟,遇水或水蒸气能产生热和有毒的腐蚀性烟雾。当发生泄漏时,应迅速撤离泄漏污染区人员至安全区,并进行隔离,严格限制出入,切断火源。应急处理人员戴自给正压式呼吸器,穿消防防护服,从上风处进入现场。切断泄漏源,防止进入下水道、排洪沟等限制性空间。
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