SiH4中的si是负四价。
1、硅烷作为一种提供硅组分的气体源,可用于制造高纯度多晶硅、单晶硅、微晶硅、非晶硅、氮化硅、氧化硅、异质硅、各种金属硅化物。
2、因其高纯度和能实现精细控制,已成为许多其他硅源无法取代的重要特种气体。
3、硅烷广泛应用于微电控制,已成为许多其他硅源无法取代的重要特种气体。
3、硅烷广泛应用于微电子、光电子工业, 用于制造太阳电池、平板显示器、玻璃和钢铁镀层, 并且是迄今世界上唯一的大规模生产粒状高纯度硅的中间产物。
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4、硅烷的高科技应用还在不断出现, 包括用于制造先进陶瓷、复合材料、