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精密仪器有：经纬仪、圆度仪、轮廓仪、气压计、真空计等。
1、经纬仪
经纬仪是一种根据测角原理设计的测量水平角和竖直角的测量仪器，分为光学经纬仪和电子经纬仪两种，最常用的是电子经纬仪。
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2、圆度仪
圆度仪（Roundnessmeasuringinstrument）是一种利用回转轴法测量工件圆度误差的测量工具。
3、轮廓仪
轮廓仪是对物体的轮廓、二维尺寸、二维位移进行测试与检验的仪器，作为精密测量仪器在汽车制造和铁路行业的应用十分广泛。
4、气压计
气压计是根据托里拆利(EvangelistaTorricelli)的实验原理而制成，用以测量大气压强的仪器。
5、真空计
真空计（VacuumGauge），又名真空表，是测量真空度或气压的仪器。一般是利用不同气压下气体的某种物理效应的变化进行气压的测量。在科研和工业生产中广泛使用。